RC2（二重回転補償子型分光エリプソメーター）はこれまでの装置の特徴と革新的な新技術が結びついて開発されました。
RC2はミューラー行列の全16成分を取得できる世界初の分光エリプソメーターです。
極めて高度なサンプル、あるいはナノ構造のサンプルなどの特長を解き明かすためにはミューラー行列全成分を測定可能なエリプソメーターが適しています。
また、RC2は従来の分光エリプソメーターと比べて得られる情報が多いため、あらゆるサンプルに対応した最も汎用性の高い装置と言えます。RC2よりも高速かつ高精度で幅広い範囲のスペクトルデータを取得できるエリプソメーターはないと言えるでしょう。

SmarAct社のピエゾステージは、独自のStick-Slipドライブテクノロジーにより、ナノレベルの高精度な位置決めと長ストロークを両立した精密位置決めステージです。コンパクトな設計と高い位置決め性能を両立し、半導体、先端計測、ライフサイエンス、X線回析、量子技術など、最先端の研究開発を支えています。お客様の用途やご要望に応じたカスタマイズにも対応し、幅広いアプリケーションを支えています。

【主な特長】
・リニアステージは12～619mmの豊富なストロークをラインアップ
・分解能1nmのフィードバックセンサを内蔵したコンパクト設計
・リニアステージをはじめ回転ステージ、Zステージ、ゴニオステージ、さらにグリッパーなど豊富なラインアップ
・単軸から多数軸まで、用途に応じて構築可能
・真空・非磁性・極低温など様々な環境に対応するオプションをご用意

SPUVは、DMDを露光用パターンジェネレータとして採用したR＆D向けのコンパクトな露光装置です。フォトマスクを使用せず、CADデータや画像データから微細パターンを直接描画できるため、設計変更にも迅速に対応し、試作期間やコストの削減に貢献します。コンパクトな卓上サイズながら、高精度なUV露光と柔軟なアライメント機能を備え、MEMS、マイクロ流体デバイス、オプトエレクトロニクス、バイオ分野など、幅広い微細加工・微細構造作製に対応します。また、研究室や開発現場への導入が容易で、アイデアを迅速に試作・評価へつなげる開発プラットフォームとして活用いただけます。

【主な仕様】
・最小パターンサイズ：1.5 µm
・露光方式：DMD方式マスクレスUV露光
・対応基板サイズ：最大5インチ角
・外形寸法：W520 × D520 × H690 mm
・入力データ：CADデータ、画像データ
・主な用途：MEMS、マイクロ流体、2D材料、バイオデバイス等

・研究開発用の「卓上」小型ALD装置（原子層堆積装置）です
・1原子層毎の精密な堆積制御を実現します
・均一で段差被覆性に優れた薄膜形成を可能にします
・テスト成膜や装置のリモート見学も承ります
・粉体専用やグローブボックス付きのALD装置もご用意しています

Anric Technologies社はハーバード大学の化学分野のGordon研よりスピンアウトしたメーカーです。熱式AT-410に加え、AT-650PとAT-200M Plusをご紹介させて頂きます。酸化膜はもちろん、窒化膜やメタル膜を低酸素含有で成膜できるプラズマALD装置（熱式でも可）です。プラズマはALD研究では実績のあるホローカソード方式を採用し、高い電子密度により緻密な膜を様々な材料で成膜可能です。
Meaglow社のホローカソードユニット単体での販売もしております。

Allied Vision社のshr411MXGE-Tは、10GigEインターフェースとSony社製大型CMOSセンサーを搭載した超高解像度カメラです。
有効画素数約1億5100万画素を実現しており、広視野を維持したまま微細構造を高精細に取得できるため、
半導体検査、材料評価、ライフサイエンスなど、高い空間分解能が要求される研究・計測用途に適しています。

また、10GigEによる高速データ転送により、大容量画像データを効率的にホストPCへ伝送できるため、
高解像度撮像時のデータ取得をスムーズに行うことが可能です。

さらに、ペルチェ冷却(TEC: Thermoelectric Cooler)機構を搭載しており、センサー温度を低減することで暗電流や熱起因ノイズの抑制に貢献します。
これにより、ノイズ低減とS/N比向上が期待できる設計となっています。